微波等离子体是在大气压环境下产生的一种微等离子体，它被广泛应用于气相色谱中原子发射光谱激发源。微波带技术的使用不仅可以将微波指向间隙区，同时也减少了不必要的外空间辐射损失，有利于耦合效率的提高，从而获得高密度等离子体。
那么微波等离子体的优势有哪些呢？
1.有较高的电离和分解程度；
2.电子温度和离子温度对中性气体温度之比非常高，运载气体保持合适的温度。这个特性，在气相沉积的情况下，可使基底的温度不会过高；
3.能在高气压下维持等离子体；
4.没有内部电极，在等离子容器内，没有工作气体以外的任何物质，是洁净的，无污染源。等离子发生器可以保持长寿命；
5.等离子可以采用磁约束的方法，约束在约定的空间内，微波结和磁路可以兼容；
6.安全因素高。高压源和等离子体发生器互相隔离，这是直流等离子体不能达到的。微波泄漏小，容易达到辐射安全标准。这是高频感应等离子体难以达到的；
7.微波发生器是稳定的，易控的；
8.微波等离子体，在许多情况下是一种比较宁静的等离子体，不象直流放电那样伴随很高的噪声级。
Agilent 4200 微波等离子体原子发射光谱仪新一代成熟的微波等离子体原子发射光谱仪。低成本、安全性更好，具有更高的检测灵敏度、检测限低至亚 ppb 水平，速度超过火焰原子吸收，并且无需使用易燃性气体。可对范围更广的样品进行无人值守分析，而且使用革命性的空气运行技术能实现较低的使用维护成本。
